Etude d'un micro-gyrometre deux axes a poutre vibrante en silicium

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Les travaux présentés ont pour but l''optimisation et la réalisation d''un gyromètre micro usiné àpoutre vibrante sur substrat silicium. Ces travaux s''inscrivent dans la continuité de thèses précédemment effectuées àFEMTO-ST et consacrées au développement de structures en étoile. Cette configuration est appropriée àla réalisation de mesures de vitesse angulaire dans le plan du substrat. Le projet de recherche propose une évolution du gyromètre silicium avec passage d''une détection capacitive àune détection optique. C''est pourquoi le mémoire propose naturellement un redimensionnement en profondeur du capteur. Ainsi, un nombre important d''études par éléments finis ont été réalisées pour optimiser la structure vibrante. Des études électromécaniques ont permis de comprendre en détail les spécificités résultant du choix de l''excitation capacitive. Ces travaux ont conduit à l''élaboration d''une structure optimisée, et ààune redéfinition des procédés de fabrication. Plusieurs capteurs ont été réalisées, validant le design et son process. Le recours àune sonde hétérodyne a ensuite permis de mesurer les déplacements hors-plan en fonction du signal d''excitation.
 
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