Nouveau procede de gravure de precision nanometrique en plasmas H2/He

Jérôme Dubois (Auteur)
voir tout
media/pim/TITELIVE/77_9783639607581_1_75.jpg

ajouter
Nouveau procede de gravure de precision nanometrique en plasmas H2/He
64,89€

Vendu et expédié par : Cultura

État : Neuf

INDISPONIBLE EN LIGNE

 

Plus que pour profiter de la promotion
Plus que pour profiter de la livraison dès demain en magasin

stock en magasin

Retrouvez le produit près de chez vous.

*hors livres expédiés à domicile ou en point relais, hors remise et promotion au panier
Réservez en ligne &
retirez sous 2h
Livraison gratuite en
magasin
Retour en magasin
sous 30 jours

Coups de cœur Cultura

Tous les passeurs de culture peuvent partager leurs découvertes !
Tu as aimé ce produit ? Partage dès maintenant ton coup de coeur :

loader
loader
loader
loader
loader
loader
loader
loader

description

descriptif du fournisseur
Pour la réalisation des transistors FDSOI 22 nm et 3D FinFET 10 nm, la gravure de couches ultraminces de quelques nanomètres d'épaisseur doit être réalisée sans endommagement de la couche sous-jacente et n'est plus envisageable avec les procédés reposant sur les plasmas continus à haute densité. Une nouvelle technologie de gravure est étudiée dans cette thèse : elle consiste à modifier la surface d'un matériau sous l'action d'un plasma et à retirer par voie chimique le matériau modifié, sélectivement par rapport au matériau non modifié. Nous nous focalisons ici sur la compréhension de la modification du matériau SiN induite par les plasmas de H2 et He, suivie d'une gravure chimique réalisée en solution de HF. Tout d'abord, un dépôt de conditionnement est développé pour prévenir la dégradation des parois et assurer la reproductibilité du procédé. Des diagnostics en plasmas de H2 et He sont ensuite réalisés pour déterminer la nature des ions, leurs flux et leurs énergies. Enfin la modification du SiN est caractérisée par différentes techniques d'analyse de surface (FTIR, SIMS, TEM).
 
Nouveau procede de gravure de precision nanometrique en plasmas H2/He

Nouveau procede de gravure de precision nanometrique en plasmas H2/He

Jérôme Dubois
On vous recommande avec votre achat
Nouveau procede de gravure de precision nanometrique en plasmas H2/He

Nouveau procede de gravure de precision nanometrique en plasmas H2/He

64,89€
+
voir mon panier

Découvrez aussi

Critiques et Essais Littéraires Livre de Lettres et Linguistique Livres universitaires Livre

Livre de Lettres et Linguistique

Dictionnaires - Méthodes Linguistiques • Textes Littéraires • Critiques et Essais Littéraires • Textes Latin et Grec • Livre de Linguistique en poche

Livres universitaires

Meilleures ventes : Livres universitaires • Nouveautés : Livres universitaires • Précommandes : Livres universitaires • Livre Sciences Politiques • Livre de Droit • Livre sur l'Entreprise • Livre sur l'Emploi • Livre Comptabilité et Finance ...

... Livre Informatique • Livre de Lettres et Linguistique • Livre Culture générale • Livre Médecine et Paramédical • Livre Gestion de patrimoine et finance • Livre BTS • Livres Universitaires IUT et DUT • Livres classes prépas grandes écoles ...

... Livres préparation aux concours • Livres universitaires d'occasion • Livres universitaires post bac et préparation concours

Livre

Meilleures ventes : Livre • Nouveautés : Livre • Précommandes : Livre • Livres Audio • Livres universitaires • Sport - Loisir - Nature • Livres scolaires • Livre Vie Pratique • Art - Culture - Société • Livres pour ados et jeunes adultes ...

... Mangas • Comics • BD • Romans littérature • Coups de cœur : Livre • Booktok • Meilleurs Livres 2022 • Livres à prix réduits • Les lectures qui font du bien • Livres d'occasion • Journée mondiale de l'environnement : notre sélection Livres ...

... Livres formation professionnelle • Biographies et autobiographies • Livre Actualité, Politique et Société • Livre Histoire et Géographie • Livres d'Art • Livre Sciences Humaines • Meilleurs livres 2023 • Livre tourisme et voyage ...

... Le meilleur du livre en 2024 • Livre Saint-Valentin • Auteurs • Des chats et des hommes • Livres Mythologie • Les livres à lire une fois dans sa vie • Livres VO • Policiers thrillers polars • SF Fantasy fantastique • Livres pass culture ...

... Accessoires de lecture • Meilleurs livres 2025

Produits similaires

Littérature : 150 textes théoriques et critiques • APPRENDRE UNE QUESTION DE STRATEGIES • Code Rousseau : De la route B (édition 2026) • Les essais • Code Rousseau : Moto (édition 2025) • L'obstacle est le chemin - édition anniversaire ...

... Code de la route (édition 2026) • Code Vagnon : Permis plaisance, option côtière (édition 2026) • La Divine Comédie • BTS OPTIQUE - Optique géométrique et physique. Préparation du BTS opticien-lunetier. Cours et 154 exercices et problèmes corrigés (Niveau A) ...

... Factfulness • Anatomie clinique Tome 1 : Anatomie générale, membres (4e édition)

retour haut de page
retour haut de page
Réservez en ligne &
retirez en magasin sous 2h
Livraison gratuite en
magasin dès le lendemain
Paiement sécurisé en 3 ou
4 fois sans frais par carte bancaire
Retours gratuits
sous 30 jours

Réseaux sociaux

Newsletter

Veuillez saisir une adresse e-mail valide.
Par exemple : [email protected]

Félicitations, votre inscription a bien été prise en compte !

Vous pouvez à tout moment vous désinscrire via le lien de désabonnement présent dans la newsletter.
En savoir plus sur notre politique de protection des données personnelles, cliquez ici

Service clients

Numéro cristal : 09 86 86 02 93

Nos conseillers ont réponse à tout, enfin presque.
Contactez-les du lundi au samedi de 8h à 19h.