Procedes plasmas pour le management thermique microelectronique - du procede a l'obtention de materi

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Ces travaux sont axés sur la mise au point d'un procédé de synthése de couches minces à basse température d'un matériaux diélectrique à forte conductivité thermique pour la passivation de semi conducteur. Cette ouvrage s'articule d'une part sur la présentation de l'état des connaissance dans les domaines des matériaux diélectriques cristallins ainsi que des procédés plasma et d'autre part sur la présentation des méthodes permettant une compréhension fine des propriétés intrinséque des matériaux quel soit structural ou thermique. La seconde partie de cette ouvrage est constitué des études menées lors de mon doctorat au laboratoire Jean Rouxel de l'université de Nantes qui s'appuie principalement à liées les domaines des procédés et des matériaux afin d'en optimiser les propriétés.
 
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